試験に際し、ビームプロファイルの測定が可能なため、加工条件に対する、より定量的なデータ取得に役立ちます。

薄膜除去等においてナノメートルオーダーの加工プロファイル取得が可能です。

一般的な加工径や形状の測定が可能です。

加工条件を確認する際、直感的に見て状況を判断することができます。ここで、より精密な測定器にて加工条件の最適化が可能となります。