加工例・加工実績

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  窒化アルミ　加工面SEM画像

  ALN：窒化アルミへの穴加工　100倍
  全体として穴形状が安定していることが分かります。
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  炭化ケイ素　溝加工03

  炭化ケイ素（SiC）溝加工
  格子ピッチ　2mm
  溝幅200μm
  深さ200μm
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  炭化ケイ素　溝加工02

  炭化ケイ素（SIC）に対して溝加工を行うことができます。
  流路形成などにご活用ください。
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  炭化ケイ素　溝加工01

  炭化ケイ素（SIC）に対して溝加工を行うことができます。
  流路形成などにご活用ください。
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  アルミナ異形加工01

  アルミナ材への穴加工
  穴径0.3～4mm
  中央部ブリッジ幅300μm
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  アルミナ異形加工02

  アルミナ材の切出し加工
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  シリコン基板穴加工

  シリコン基板Φ5mm穴加工
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  シリコンマスク加工

  シリコンウエハによるマスク加工
  蒸着用オープンマスク
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  Siリサイズ加工

  Siリサイズ加工 外周切り落し端材
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