ALN：窒化アルミへの穴加工 100倍
全体として穴形状が安定していることが分かります。
セラミック・シリコン [アルミナ・窒化アルミ・炭化ケイ素他]
当社では微細穴や薄いセラミックスに対して加工を得意とし、近年の耐熱性や電気特性が求められるレーザー加工以外では加工の難しい機能性セラミックスに対応できるよう加工工法の開発を行い実績を積み上げています。
加工例・加工実績 （9/20件）
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窒化アルミ 加工面SEM画像
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炭化ケイ素 溝加工03
炭化ケイ素（SiC）溝加工
格子ピッチ 2mm
溝幅200μm
深さ200μm -
炭化ケイ素 溝加工02
炭化ケイ素（SIC）に対して溝加工を行うことができます。
流路形成などにご活用ください。 -
炭化ケイ素 溝加工01
炭化ケイ素（SIC）に対して溝加工を行うことができます。
流路形成などにご活用ください。 -
アルミナ異形加工01
アルミナ材への穴加工
穴径0.3～4mm
中央部ブリッジ幅300μm -
アルミナ異形加工02
アルミナ材の切出し加工 -
シリコン基板穴加工
シリコン基板Φ5mm穴加工 -
シリコンマスク加工
シリコンウエハによるマスク加工
蒸着用オープンマスク -
Siリサイズ加工
Siリサイズ加工 外周切り落し端材
